二手 NIKON NSR 1505 G7 #9016034 待售

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NIKON NSR 1505 G7
已售出
ID: 9016034
晶圆大小: 2"-6"
Wafer stepper, 2"-6".
NIKON NSR 1505 G7是一种用于生产最先进的半导体的高性能晶圆步进器。G7系列是下一代设备,以其尖端的光学、照明和运动控制技术提供高精度和高通量。它具有纳米尺寸的喷射尺寸和超细覆盖精度,非常适合最新的半导体电路设计。其先进的功能还支持要求最苛刻的阵列设计过程,从而能够完全制造出任何芯片中最小的特性。NIKON NSR 1505G7具有0.65的高数值孔径(NA)和0.13微米宽的最大分辨率。该系统还具有一个大型、功能齐全的曝光室,字段大小为532mm x 532mm,能够实现每小时多达500次曝光量的最大吞吐量。该装置采用NIKON独特的先进照明机器和结合同轴和离轴照明技术的先进光学工具。自校正功能使资产能够针对机械漂移、热漂移和光学漂移进行校正。模型的重复率也可以在细分步骤中进行调整,允许最高级别的处理精度。NSR 1505 G7还配备了一系列现代功能,使操作更加轻松高效。内置配方支持设备可确保所有工艺参数存储在一起,从而提供更快速的访问和更轻松的操作。该系统还配备了实时图像检测单元,显示晶圆的实时图像,并允许用户在开始曝光过程前验证所有工艺条件均得到满足。此外,NSR 1505G7还具有高度安全的扫描计算机,可提供最高级别的数据保护和安全性。除了其令人印象深刻的技术特性外,NIKON NSR 1505 G7是一款环保工具。其节能LED照明降低了运行期间的能耗,也确保了机器及其部件的使用寿命更长。此外,该资产还提供自动维护功能,可减少操作员的干预,并有助于延长模型的使用寿命和性能。NIKON NSR 1505G7是最先进的半导体制造工艺的理想选择,其前沿的光学、照明和运动控制技术支持最新的半导体电路设计。它为用户提供了可靠、高性能和用户友好的设备,能够以最高的精度和准确性实现最先进的制造过程。
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