二手 NIKON NSR 1505 i6 #9068876 待售
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NIKON NSR 1505 i6是为高精度晶圆光刻而设计的4英寸晶圆步进器。这种先进的设备结合了NIKON先进的光学、世界级的工艺和高度稳定的运动,提供了最高的精度和生产效率。该系统设计用于处理半导体、MEMS或其他先进技术上的光掩码。它采用了NIKON专利的"i"(索引括号)线扫描技术,提供了较高的图像质量、较低的模式识别误差和较少的掩码缺陷。NSR 1505 i6光刻单元利用步进级精度。该机采用高精度、六轴运动控制器。该运动控制器采用两级伺服控制扫描机构,可随时提供光掩模的平滑准确运动。该工具还具有高精度晶片级,确保在光刻过程中精确放置晶片。晶片级有一个防滑表面,允许晶片边缘的高度均匀性。此外,该资产还配备了NIKON专利的"浮动舞台"模型,该模型允许舞台独立于光学车厢移动。这样可以使设备在蒙版加载过程中保持恒定聚焦。NIKON NSR 1505 i6也有一套功能强大的软件选项。这些包括自动对焦和自动对焦优化、程序管理和自动对焦窗口选择。此外,它还提供了广泛的作业控制设置,以实现最大的速度和可靠性。总体而言,NSR 1505 i6晶片步进器是一种功能强大且可靠的机器,适用于以最高精度和生产效率处理复杂的光掩模。该系统具有先进的运动控制、卓越的图像质量、高精度晶圆级以及最佳的软件功能。它是一个高度先进的单元,适用于半导体行业的广泛应用。
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