二手 NIKON NSR 1505 i7A #9409898 待售
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ID: 9409898
优质的: 2010
Stepper
Lens data
Field size: 15 x 15 mm
Lamp uniformity: < 2%
Flash power: 300 Mw
Exposure stability: ≤ 1.4%
Water flatness: ≤ 25µm
LSA Focus: < 1.5 µm
Tele focus: < 0.02 µm
Reticle blinds: 0.4 - 0.8 µm
Stepping: Sigma < 0.03 µm
Orthagonality: < 0.2 sec
Reticle rotation: RRep ≤ 0.02 µm
Wafer loader repeatability: Sigma ≤ 5 µm
Overlay: 3 σ
with average ≤ 0.13 µm
Focus repeatability: 3-1 ≤ 0.15 µm
Lens tilt:
UR - LL ≤ 0.45 µm
UL - LR ≤ 0.45 µm
2010 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper是一种高精度、紧凑的光刻设备,专为先进的半导体器件制造而设计。它采用了7纳米分辨率的步进/扫描技术,具有高度可靠的步进/扫描头,具有420mm x 500 mm的大工作区。这台机器能够跨越一个大的工作领域而不降低分辨率,这使它在现代纳米技术应用中具有独特的优势。NIKON NSR-1505I7A Wafer Stepper的光学架构是基于简单有效的设计。该系统由超高分辨率光学透镜和低NA投影光学元件构成。这种组合导致图像字段为420mm x 500 mm,最高分辨率为7nm,精确控制对象的位移以实现恒定的步长大小。支持晶片步进器的静态和扫描头应用的两种变体,从而使生产具有灵活性。NSR 1505 I7A Wafer Stepper具有良好的性能和准确性记录。具有先进的6轴运动控制和简化定位的运动控制技术,保证了工艺的更高精度和精度。这台机器还配备了一套符合人体工程学和用户友好的软件,便于操作。NSR 1505 i7A Wafer Stepper使用了一系列高级功能,包括自学算法,以最大限度地提高光刻曝光的效率。该单元能够实现更高分辨率的成像和改进瞳孔偏振,让用户获得更清晰的图像和地下成像。该机还具有自动对齐功能,能够快速集成到生产线中。NSR 1505 I 7 A Wafer Stepper是一种高度可靠和高效的机器,使用户能够在各种基板上实现高精度光刻。它小巧的尺寸可以方便地安装到现有生产线中,而且安装时间最短。这台机器的优势,加上直观、用户友好的软件,使其成为先进半导体器件制造的理想选择。
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