二手 NIKON NSR 1755 G7E #293591982 待售

NIKON NSR 1755 G7E
ID: 293591982
晶圆大小: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 1755 G7E是一种先进的晶圆步进器,融合了先进技术,提供高分辨率成像和精确对准。它配备了一个内部辐射源和一个7英寸图像放大模块(称为FESEM),能够对应用半导体晶片的背面进行超高分辨率成像。这种设备使得在极低热漂移的光刻图像中实现最高对比度成为可能。NSR 1755 G7E非常适合完全满足先进的光刻要求,即使对于最小的特征也是如此。步进器的内部辐射源是一种高速电子束发生器,具有最小分辨率特征的完美能量量。该电子源还能够补偿热漂移引起的图像错位和变形。它确保了光刻图像的优越对比度和亮度,同时也显着降低了残余晶片的地形。这种辐射源也能抗震,因此可以在任何生产环境中发挥作用。NIKON NSR 1755 G7E的7英寸FESEM成像模块的分辨率为384nm,图像可以放大到1300X(正版图像区域)以实现4倍的放大(是标准显微镜分辨率的4倍)。这种高分辨率的成像模块使光刻掩模和晶片的对准更加精确。NSR 1755 G7E具有8向扫描级,其设计允许全速对准,并以最小的移动和对准时间聚焦于整个晶圆表面。此外,此步进器还具有内置的图像迭加功能,以及用于存储和回忆石英掩模图样的闪存。该系统还配备了控制控制台,用户可以在扫描过程中控制其功能并监控参数。与NIKON服务诊断软件的兼容性使用户能够直接在显示器上查看步进性能数据并将其下载到网络。该软件还能够分析数据并向用户提供实时反馈。NIKON NSR 1755 G7E是一种可靠高效的晶圆步进器,在所有类型的光刻应用中都能提供优异的效果。它兼具高科技特性和先进的成像能力,是半导体制造的理想选择。
还没有评论