二手 NIKON NSR 1755 i7A #293655181 待售
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ID: 293655181
晶圆大小: 6"
Stepper, 6"
(2) CVCF NEMA Boxes
Reticle, 5"
Wafer chuck, 6"
0.5 NA
Variable reticle microscope: 15, 17.5
Reticle barcode reader
Reticle case, 5"
Wafer type: Semi wafer
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment2 / Hammer, 6"
Wafer loader
Chip levelling
Carrier table: Left / Right
HP 5517A Laser
Right rack
ASAHI S78 Chamber
Chamber temperature: 23°C
NEST2 PC.
NIKON NSR 1755 i7A是一种最先进的晶圆步进器,专为跨越广泛应用的晶圆工艺而设计。通过高度精确的步骤和扫描以及高速操作,此步进器有望提高吞吐量、提高产量、降低成本并提高总体生产率。步进器有双轴设备，利用新的扫描和镜像系统来提高精度和速度。它还具有业界领先的移动阶段选项,允许加速速度比其他型号快20%,同时保持节拍精度。步进器还具有高精度的边缘对准功能和晶圆级卸载功能,有助于确保芯片边缘放置的一致性。此外,NIKON NSR 1755I7A使用基于图像的自动操作措施,可将晶圆的制备时间缩短到7分钟以内。NSR-1755I7A使用400nm光学系统和5.2对角线测量,确保光刻等过程的最高精度和误差。光刻单元允许抵抗处理控制和提高光学分辨率水平，允许更好的剂量精度和薄膜的均匀性。它利用先进的光学设计、一套过程控制工具和内置的快速CD处理来帮助实现所需的特征尺寸和精度。镜头系统还使用NIKON Precision Optics，提供顶级图像质量和数值光圈精度。此外,NSR-1755 I 7 A适用于200毫米到12英寸或更大的各种工艺尺寸。晶圆步进器也是完全自动化的，并附有现场预防性维护功能，允许不间断地继续运行。此外,步进器还具有基于传感器的机器,可帮助提供最佳曝光条件。总而言之,NSR 1755 i7A是一种先进的晶圆步进器,可提供高度精确的步进和扫描以及高速操作。此步进器可帮助提高吞吐量、提高产量、降低成本以及提高各种晶圆工艺应用程序的生产率。
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