二手 NIKON NSR 1755 i7A #293655188 待售
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NIKON NSR 1755 i7A是一种先进的晶片步进器，能够在半导体晶片上以亚微米级分辨率成型制造层。作为NIKON iSeries中最先进的步进器之一，它非常适合处理具有挑战性的高级节点晶圆，包括5 nm及以下的高级节点。NIKON NSR 1755I7A采用低振动、冷阴极直接标记（CCDM）技术,可实现亚微米级图样所需的成像稳定性和图样精度。CCDM成像和7轴级单元的组合提供了一个无与伦比的基板与基板对准精度小于1.0微米。有了车载实时闭环监控设备，晶圆对准可以不断跟踪调整，在处理过程中保持极高的精度。NSR-1755I7A的视场为25毫米x 25毫米,总吞吐量超过250晶圆/小时。它与高性能电光模块（EOM）集成在一起，具有增强的波长系统，可提高成像质量和吞吐量。EOM具有先进的光学单元以及Ultra-Violet和ArF激光扫描功能,可对来自一系列高级节点的晶圆中复杂模式进行成像。NIKON NSR-1755 I 7 A设计可靠,具有符合人体工程学的布局,易于操作/维护。它还配备了先进的环境能力，包括1000级洁净室环境和多波长照明机。这项功能允许它以最小的噪音和最小的粒子污染来处理高端设备。NSR 1755 i7A为设计高级节点晶片提供了完美的平台,同时确保了尽可能高的准确性和可靠性。它能够在5 nm及以下的高级工艺中对复杂模式进行阵列设计,使其成为当今半导体制造操作的理想工具。
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