二手 NIKON NSR 1755 i7A #9309533 待售

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ID: 9309533
Stepper.
NIKON NSR 1755 i7A晶片步进器是一种业界领先的精密控制设备,专为在最先进的基于晶片的基板上制造集成电路(ICs)而设计。该系统为三维和平面工艺提供先进的光刻功能。其高分辨率曝光单元具有低发散LED光源,远距离成像精度为4nm (4 × 10-9m)。它有一个极精确的晶圆级能够以3纳米/秒的速度以纳米尺寸精度移动,允许各种设备和电路的高分辨率曝光。NIKON NSR 1755I7A利用空气轴承主轴最大限度地减少横向配准误差和批处理时间。其晶片处理功能包括以高达70毫米/秒的速度将多达8英寸的晶片基板装卸到盒式磁带或手动卡盘上。其标线处理和对准功能具有先进而强大的护板,成像精度为0.25um (0.25 × 10-6m)。此外,NSR-1755I7A还包括先进和强大的步进光学。其光学机器采用了最先进的溷合TFT-AMLCD投影光学器件,高数值孔径为0.5。NSR 1755 i7A还具有许多环境控制机制。它能够探测和控制其工作环境的温度到1°C ±以内。它对高温和低温气候都有抵抗力(-25°C ~+45°C)。此外,它还具有防尘和耐粒性,能够控制灰尘颗粒下降到0.3〃m。此外,它还包括一种防振设计,将新设计的、更坚固的制造商固定起来,以最大程度地降低振动水平,提高工艺稳定性。总体而言,NIKON NSR-1755 I7A是一种可靠且先进的晶圆步进器,能够产生高分辨率的集成电路,具有卓越的精度和精确度。它的高分辨率曝光工具、晶片处理能力、标线对准和光学资产以及环境控制措施使它成为一种复杂而可靠的IC制造工具。其卓越的性能标准使其成为与集成电路制造相关的生产工艺的理想选择。
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