二手 NIKON NSR 2005 i10C #9283319 待售
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已售出
ID: 9283319
晶圆大小: 6"
优质的: 2010
Stepper, 6"
Main body
Controller rack
AC Unit
NA Variable system
Maximum NA: 0.57
Reticle size, 6"
(20) Reticle microscopes
Wafer chuck, 6"
Wafer chuck type: Ring
(6) Pre-alignment 2: Flat
(6) Pre-alignment 2 hammers
Wafer loader: Type 1
Chip leveling
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: LSA
No in-line
No on-line
No in-line interface
No wafer alignment assist microscope
No wafer edge exposure
No signal tower
No power meter / Test reticles
No reticle cases
No remote controller
2010 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是一种高性能晶圆步进器,旨在以最低的成本提供尽可能高的性能。这种通用设备能够为要求最苛刻的工艺提供最精确的晶圆制造解决方桉。它提供了一种全自动操作,可确保各种流程的结果一致。NIKON NSR 2005I10C具有两级光学系统,具有高度的灵活性和准确性。该系统由可变放大倍率的高分辨率晶片图样透镜供电。设备上的全自动对齐器允许不间断对齐，使其适合可重复、高精度的阵列。步进器还配备了一个高分辨率激光源，使其能够创建高达10微米分辨率的图样。此外，它还能够自动优化暴露时间和剂量范围，以达到可重复的结果。NSR-2005I10C的高速步进驱动器能够快速、精确地处理晶片，而其庞大的扫描领域使其能够容纳多个晶片组件。内置LCD接口提供了简单直观的操作，允许用户监控设备状态并进行任何必要的调整。此外,该设备还具有集成真空卡盘,可确保晶片在处理步骤中牢固地固定。NSR 2005I10C非常可靠,能够提供最高质量的结果而不会失败。它能够为清洁环境提供不变的大气层和低污染水平。另外，镜片的低数值光圈使其能够在降低失真和像差的情况下获得更好的分辨率。这种特性的组合确保NSR-2005 I 10 C是一种功能强大的晶圆步进器，适用于各种晶圆处理应用。
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