二手 NIKON NSR 2005 i10C #9283324 待售

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ID: 9283324
晶圆大小: 4"
优质的: 2012
Stepper, 4" Main body Controller rack AC Unit NA Variable system Maximum NA: 0.57 Reticle size: 6" (20) Reticle microscopes Wafer chuck: 6" Wafer chuck type: Ring (6) Pre-alignment 2: Flat (6) Pre-alignment 2 hammers Wafer loader: Type 1 Chip leveling Wafer carrier table: Left / Right Alignment sensor: LSA No in-line No on-line No in-line interface No wafer alignment assist microscope No wafer edge exposure No signal tower No power meter / Test reticles No reticle cases No remote controller 2012 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是设计用于生产半导体器件的最先进的晶圆步进器。这种可变光斑尺寸的投影曝光设备具有经过验证的72通道照明系统和高速晶体石英折射透镜单元。它能够实现卓越的成像和覆盖精度,并且可以轻松处理单至6英寸晶片。NIKON NSR 2005I10C采用高速、高度精确的XY电机级设计。该电动机级能够快速、精确地定位晶片,并提供高精度对准和超精细扫描控制。机器的光学器件是基于一个折射石英晶体透镜,允许高强度和快速的成像速度,没有色差。NSR-2005I10C配备了72通道TTL照明工具,提供均匀的照明和卓越的噪音免疫力。该资产允许使用具有多波长照明光的高级光学器件来微调曝光过程。该模型还配备了高速晶片索引机制,能够实现精确的未曝光晶片传输。这与高速晶片处理程序相结合,使得即使是大晶片也能快速处理出高收益率的晶片。该设备采用高性能和用户友好的CoolViewer操作软件实现自动化,从而实现快速、准确的操作,从而大大缩短了总运行时间。该系统还具有自动或手动对准模式,以及精度为1nm的自动目标聚焦功能。NIKON NSR-2005 I 10 C晶片步进器是晶片加工的理想选择,具有高度的精确度,易于操作和自动化。该设备具有卓越的成像质量和精度,非常适合要求苛刻的微芯片生产需求。
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