二手 NIKON NSR 2005 i8A #293617129 待售
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已售出
ID: 293617129
晶圆大小: 8"
优质的: 1992
Stepper, 8"
Laser Model: < 1mW He-Ne laser
(5) Reticles: 6” x 6”
Lamp power supply
(2) CCU NVC6B-U Black and white cameras
Computer
Monitor: Black and white
HBO Lamp: 2000 W
Stage:
Stage axis: X, Y, Z
Automated Stage
Vacuum
Short circuit interrupting capacity: 22 KA
Compressed air
Chemical: Freon-22
Suniso 3GS Refrigeration Oil
Non-contact cooling water
Motor / load: 12 A
Power supply: 208 V, 40 A, 50/60 Hz, 3 Phase
1992 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A是一种晶圆步进器,一种在电子工业中用于缩放半导体器件生产的机器。它通过从激光二极管或聚焦离子束(FIB)传递能量来操作,从而在基板上实现所需的模式。NIKON NSR 2005I8A旨在降低半导体批量生产过程中的成本和提高生产率。NSR-2005I8A配有集成照明,可减少每次曝光的曝光时间。这种短暂的暴露降低了电源变化以及颗粒和污染的影响,从而提高了工艺稳定性。此外,它的加速/减速时间已减少到7毫秒,从而最大限度地减少了非最佳曝光时间,以最大限度地提高生产吞吐量,并减少曝光时间带来的任何潜在损害或资源。此外,它还具有较大的打印领域,允许生产分辨率较高且缺陷较少的较大模具。NSR 2005I8A提供了增强的稳定性和0.1% ±的激光功率稳定性,从而实现了改进和一致的结果。同时,通过监测缝合方向,使细纹缝合中的变形最小化,实现了缝合失配控制。其曝光控制系统进一步实现了表面粗糙度和图像质量控制。该机器还配备了软件功能,能够在曝光时进行校正,并在曝光后进行诊断,以确保产品质量无缺陷。NSR-2005 I8A还具有自动对焦和先进的自动对焦算法,由于其低像差投影光学,能够快速执行自动对焦。其逐个细胞评估技术进一步提高了批量生产水平的生产率和产量。它还具有三维对齐功能,可以纠正任何关键的尺寸错误,而其集成的通用I/O端口简化了操作数据通信和流程管理等流程。总体而言,NSR 2005 i8A是一个功能强大的晶圆步进器,能够在半导体器件的批量生产中产生一致、高质量的结果。其先进的功能和技术使其能够快速进行曝光,并以最短的曝光时间和更好的稳定性,确保更高质量的产品和提高生产效率。
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