二手 NIKON NSR 2005 i8A #9041676 待售

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ID: 9041676
Stepper, 6" Basic version: MCS2 Main computer: System: PDP11/73, VT-284 CRT Monitor Hard disk: RZ26L-E (1) Disk drive: 5.25" Illumination type: Normal Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type Interferometer: HP Laser Reticle alignment: ISS Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm) Wafer alignment: LSA, FIA Auto focus: Single Wafer loader: Type-1, OF Type Flatzone: Front In-Line exist (Left) Cassette: Left/Right Control rack position: Right Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots PPD: Available Barcode system: Available Chamber type: ASAHI Chamber No missing parts Powered down Deinstalled 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper是一种先进的高分辨率光刻设备,用于在半导体晶片上打印极小且复杂的特征。该系统以高数值孔径(NA)投影透镜和高分辨率运行,将微观图像精确传递到光刻涂层晶片上。它能够打印小至1.2 µm的特征,并具有清晰、高清的图像。NIKON NSR 2005I8A有一个复杂的成像单元设置,包括一个照明器,曝光镜头,舞台,和传感器。照明器产生强大的光,然后由曝光透镜控制和冷凝。由于真空卡盘具有高精度定位和受控的机械运动,所得到的图像被投影到保持在舞台上的晶片上。该级还能够旋转、倾斜和移动晶片以提高曝光精度。传感器集成到机器中,用于监测和优化晶圆的暴露剂量。其精密算法实时工作,并调整曝光条件,以确保获得最佳效果。它还能够检测任何可能对光刻性能产生负面影响的曝光问题。NSR-2005I8A还具有一套软件选项,以帮助自动化曝光参数控制和数字图像处理。该工具设计为坚固可靠,能够以优化的方式工作,并具有可重复的性能。这是通过先进的数字信号处理器(DSP)资产和用于捕获和存储模式数据的高分辨率CCD相机实现的。最后,NSR 2005I8A还配备了一个使用离子铣削技术的清洁模型,以确保光学设备保持清洁,不受污染物的污染,否则会干扰暴露过程的准确性和稳定性。最后,NIKON NSR 2005 I 8A是一种先进且高度精确的晶圆步进系统,具有一系列有助于提供高精度光刻结果的功能。其精密的成像和曝光系统确保晶片暴露在精确的条件下以产生所需的图样。高级软件和硬件的使用还有助于自动化、优化和监控曝光过程,使其能够以最高效率工作。NSR-2005 I8A的总体设计使其能够以始终如一的高性能生成高分辨率、高清晰度的图像,即使在亚微米级也是如此。
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