二手 NIKON NSR 2005 i8A #9041776 待售

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ID: 9041776
Stepper, 6" Basic version: MCS2 Main computer: System: PDP11/73, VT-284 CRT Monitor Hard disk: RZ26L-E (1) Disk drive: 5.25" Illumination type: Normal Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type Interferometer: HP Laser Reticle alignment: ISS Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm) Wafer alignment: LSA, FIA Auto focus: Single Wafer loader: Type-1, OF Type Flatzone: Front In-Line exist (Right) Cassette: Left/Right Control rack position: Left Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots PPD: Available Barcode system: Available Chamber type: ASAHI Chamber No missing parts Powered down Deinstalled 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A是一种高性能步进器,适用于微电子和显示器件生产的光刻应用。此步进器可用于各种应用,如多层处理、掩码对齐、成像等等。NIKON NSR 2005I8A提供了多种功能来帮助提高光刻工艺的性能和生产率。它以每小时四百八十二(482)个晶片的最高速度运行,提供高精度,分辨率降至0.33微米,覆盖精度为4%(4%)。步进器利用具有两个精确对准目标的双焦点对准设备和专有的图像数据进动系统来提高准确率。NSR-2005I8A具有最大数值孔径为0.55且场直径为456(456)毫米的光学单元,可实现广泛的曝光高度和处理体系结构。这台机器还提供了一个光学catoptric设计,有效的数值孔径为0.63用于一个纯激光预对准面罩。步进器包括一个微米臂,允许快速和高效的晶圆安装和检查。它配备了主动扫描仪机构,提供对样品的平稳快速扫描,可以处理直径最大6.3英寸的最大样本量。步进器还带有内置的清洁制图程序,允许用户检查样品是否有污染。此外,NSR 2005 i8A还具有复杂的功能,如单步写入模式和获得专利的自动掩码与掩码对齐工具。NIKON NSR-2005 I8A与各种化学和抗药剂兼容,为用户提供了广泛的选择。它由提供易于使用的图形用户界面的高端软件资产提供支持。此外,此模型还提供多种配方创建选项,使用户能够为各自的应用程序创建优化的光刻配方。总体而言,NIKON NSR 2005 I 8A是光刻应用的高效可靠步进器。它提供了广泛的特点和高度的准确性和效率,使其成为各种光刻工艺的理想选择。
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