二手 NIKON NSR 2005 i9C #293605792 待售

NIKON NSR 2005 i9C是一种用于光刻的晶圆步进器，是为了制造集成电路而将图样从掩模转移到基板上的过程。该设备包括光刻所需的所有元件，其特点是精度高、通用性高、速度快。该i9C使用先进的步进光学,最小化的缺陷和散射像差,和优越的模式.该系统采用可变光束点大小（VBSS）功能进行设计,允许在直径0.6至5 µm之间设置一系列光束点大小,从而使用户可以灵活地为每个图样使用最佳设置。NIKON NSR2005I9C除了拥有专利扫描技术外,还配备了独一无二且用途广泛的Cassette Changer Systems （CCS）。CCS是完全自动化的,由一个九托架盒式磁带支架和两个具有自动刀片传输功能的刀片机架组成。此单元允许用户快速更改和调整不同的部件类型。i9C产生的裸露图样具有低残留畸变和低锯齿状。该机器使用NIKON专有的自动失真校正（ADC）来检测和校正每次曝光时的失真,减少错误并最大限度地提高模式质量。此外,i9C还提供了非常准确和可重复的结果,使用户能够放心地批量制造组件。该工具利用精确对齐监控资产，在整个移动过程中不断监控舞台的位置和倾斜。这样可以确保出色的零件位置和稳定的投篮。NSR-2005I9C晶圆步进器具有广泛的特性，使其成为生产高产、高质量的集成电路制造模式的理想选择。凭借其先进的光学、CCS和ADC,它使用户能够以最高的精度和可重复性以及最小的失真轻松传输各种模式。