二手 NIKON NSR 2005 i9C #9242188 待售

NIKON NSR 2005 i9C是一种全场、高精度晶圆步进器，旨在提高半导体器件的产量并降低制造成本。这台机器是继NSR-2005i8C之后的模型，并通过增强的光学和处理组件提高了性能和效率。与其他非1：00镜头相比,NIKON NSR2005I9C设计为使用1：00伽马涂层镜头步进器,可减少耀斑和幻影。正因为如此，步进器能够产生高一音高的模式与ultrasharp成像质量。该机采用改进的晶圆对准设备，可实现高吞吐量，确保精确对准，提高工艺重复性，减少批次故障。WASL系统测量晶圆外围的对准误差,从而减少沿整个磁场的焦点偏移。该i9C同样具有可变分辨率功能,使其能够在晶圆级重现精确的图样尺寸,并能够在4X （1微米分辨率）和10X （0.25微米）分辨率之间切换。这样可以确保正确维护阵列几何,并增加晶圆尺寸范围。NSR-2005I9C具有一个集成的动态聚焦单元,可补偿长场和高放大倍数步骤上的焦点转移以及焦点超调,以确保高精度和高音调模式能力。动态聚焦还降低了热力和微炉效应，因为聚焦位置是在每一个全球步骤上积极监测和调整的。该i9C还提供了一种改进的照明设备,可提供典型的2 µm线宽图样和传统的干蚀刻抗蚀剂,以及1 X双值像素分布（BPD）的强大而灵活的压缩。改进的照明工具还展示了一个近场效应降低，提供更好的模式对比。NIKON NSR 2005I9C还具有机械和环境稳定性,有助于减少意外故障、缺陷和产量损失。机器上的过程控制和分析软件包确保i9C功能的最佳利用率,同时向操作员提供实时信息。总体而言,NIKON NSR-2005I9C是一种精密晶圆步进器,采用先进的成像光学技术和精密的工艺控制,可提高半导体制造的产量和成本效益。