二手 NIKON NSR 207D #293591966 待售

NIKON NSR 207D Wafer Stepper是生产级晶圆步进器，为晶圆製造带来可靠、高品质的电路模式。其能力范围从设备制造到消费电子产品的后端生产。NIKON NSR 207 D是一款ImTech/Ni-Plus机型，融合了先进的光刻、强光照射、快速对准和灵敏调节等先进特性。在设备制造方面，NSR 207D采用具有专有"龙虾眼"透镜技术的先进光刻技术（ALT）。这项技术允许更短的曝光时间和更高分辨率的图像，使其成为半导体结构1.2 µm接触模式的理想选择。晶圆步进器还带有先进的定位和测量系统。这些系统能够快速、准确地发现晶片图样的对齐误差，以确保生产过程中产量更高。他们还拥有一个强大的标记检测设备，可以在一个不间断的对准过程中准确检测微小的缺陷。晶圆步进器还有一个强大的光照系统，保证光刻胶光滑而均匀的发展。这是通过向曝光单元发出一组指令并战略性地映射曝光区域来完成的，从而产生无热点、聚焦光强度无变化的高质量设备模式。对于后端生产,NSR 207 D还配备了曝光扫描仪。它具有与100 mm/s扫描速度的快速对准,以便精确控制曝光。它还具有交互项目搜索功能来识别目标模式。此功能可以检测暴露漂移并纠正暴露误差,以确保生产产量一致。晶圆步进器还支持薄膜加工，可以平滑跨越晶圆边界生产复杂图样。综上所述,NIKON NSR 207D Wafer Stepper是一种先进的生产级晶圆步进器,提供从设备制造到后端生产的多种功能。它包括先进的光刻机、强光曝光工具、快速对准系统、灵敏调节和薄膜处理。这些特性允许高质量的器件图样和晶圆图样的精确定位以及一致的生产产量。