二手 NIKON NSR 2205 EX12B #293589625 待售

NIKON NSR 2205 EX12B是专门设计用于高精度晶圆加工的先进步进模型。与传统步进器相比,它具有多种优势,例如更高的吞吐量、更高的准确性和更低的维护要求。NIKON NSR-2205EX12B具有强大的两级电动Z轴驱动设备,可提供平稳的操作并允许精确的舞台移动。第一级驱动系统由手动调节的分流器支持。第二级驱动单元包括一个内置的解析器，即使在高速下也能提供低噪声和低振动操作。这样就可以在不漂移的情况下对晶圆的大面积进行准确和可重复的扫描。步进器还具有场发射扫描电子显微镜（FESEM）和集成CCD相机。这样可以对样品表面进行更高分辨率的成像,从而能够更准确地检测细微的异常。FESEM也可用于晶圆表面结构的原位操纵。这对于去除残留物、调整暴露参数和控制暴露过程中的加工条件很有用。此外，步进器还包括用于高精度晶圆对准的曝光配准机构。这样可以对晶圆模式进行高度精确的配准，并且能够快速补偿局部基准不对齐。该机还具有集成的自动校准例程,可快速调整焦点以确保正确对准。步进器还包括一个自动阶段对准功能，它可以纠正曝光期间的任何错位。NSR-2205 EX12B是一种先进的步进器,旨在提高晶圆处理的吞吐量、准确性和维护要求。它使用强大的双层驱动工具进行平滑运动而不漂移和FESEM用于高分辨率成像和晶圆图样的原位操作。此外，步进器还包括自动校准和自动级对准功能，以确保准确性和可重复性。所有这些功能使NSR 2205EX 12 B成为那些寻求高度精确和可靠的晶片步进器的人的理想选择。