二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9207018 待售
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ID: 9207018
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Stepper, 8"
Temperature range: 23°C
Chamber type: N2M-A
NA Variable system
Reticle size: 6" (Normal)
Reticle microscope: Fix
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle barcode reader
No reticle SMIF
No R-library
Reticle case: 6"
Wafer type: Notch
Pre alignment 2
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line (Right)
Wafer carrier table: Left, Right
Alignment sensor: LSA, FIA
Rack type: Normal (Left)
Body OP ruck cable: 3 m (Normal)
No wafer edge exposure
Laser type: CYMER ELS-5400 Laser
Laser position: Same flor
No signal tower
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 EX12B是一种全场、高精度晶圆步进器,设计用于严格的光刻应用。它旨在提供卓越的成像性能,并帮助减少将电路设计转换成晶片所需的光刻工艺步骤数量。NIKON NSR-2205EX12B采用63X高NA镜头,具有图像场旋转能力,可以与各种模式配合使用。它以步进扫描模式运行,这使得布局设计具有更大的灵活性,能够以更高的分辨率覆盖更大的表面积。配备了长寿命快门和高端、先进的激光二极管设备,NSR-2205 EX12B提供了高重复性和可靠性。模式传输的准确性也得到提高,从而能够生产出更高质量的设备。NSR 2205EX 12 B具有较高的吞吐量,可实现高达400WSPM的速度。它具有很高的柔韧性,能够容纳各种各样的基板,包括硅、石英、玻璃、金属和聚合物,以及各种电路设计。步进器设计为与所有NIKON系统兼容。NIKON NSR-2205 EX 12 B配备了众多功能,包括自动对焦和自动对准功能、模具附件功能、内置光刻和抵抗检测系统、数字放大或缩小能力、就位对焦和多轴加热器单元。NIKON NSR-2205 EX12B的i-Line照明机提供宽域照明,有助于减少光线引起的缺陷。步进器还有一个有石英窗的专用管和一个防止污染的值传递级。为确保准确工作,NSR 2205 EX12B采用高精度投影光学工具进行设计。它采用高速X-Y级,线性度为0.1微米,可重复性显着为0.5微米。NSR-2205 EX 12 B是一种可靠且功能强大的晶圆步进器,可提供效率、精度、灵活性和性能的组合。适用于先进的光刻应用,可用于制造高精度的元件和产品。
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