二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9238672 待售

ID: 9238672
晶圆大小: 8"
KrF Stepper, 8" Resolution: 280 nm.
NIKON NSR 2205 EX12B是为集成电路的光刻生产而设计的晶圆步进器。作为先进的第二代光学光刻设备,其输出分辨率高达0.45微米,可达12.5厘米。它结合了两种技术来提高精度和吞吐量:先进的ArF准分子激光光源和高精度NIKON投影光学。这种晶片步进器还配备了具有高度精确配准的先进晶片级,使得将图样精确地以最小的失真传递到晶片上成为可能。NIKON NSR-2205EX12B具有大量的特性,使其适合前沿半导体生产。配备步进控制单元、基于规则的缺陷检测系统、高效自动对焦单元。这种晶片步进器还能够进行广泛的操作,如自动晶片对准、步进重复过程和标线调整。此外,其先进的半导体工艺能够以+/-3%的精度产生高达0.45 um的分辨率。此外,NSR-2205 EX12B还配备了一个标线级,从而可以为光刻工艺设置不同种类的标线。它具有自动曝光机,可自动控制光刻工艺的曝光和强度。此外,此晶片步进器提供了卓越的图像质量,没有失真或未对准。阶段和标线阶段都极其可靠和耐用。除了其先进的光刻工具外,NSR 2205 EX 12B还配备了多种其他功能,使其成为理想的晶圆步进器。其先进的软件允许复杂的过程和模式控制。它还提供AutoCalibrate软件,以提高工具的性能和晶圆对准精度。此外,NIKON NSR 2205EX 12 B还配备了用户友好界面,可轻松移动、复制和重新扫描工具中的对象。总体而言,NIKON NSR-2205 EX 12 B是一种先进的晶圆步进器,设计用于集成电路的光刻生产。它提供卓越的分辨率和精确度,以及各种使其适合高端半导体生产的功能。它还具有用户友好界面、高级软件和自动晶圆对齐功能。这些特性使其成为当今市场上最先进的晶圆步进器之一。
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