二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9252483 待售

NIKON NSR 2205 EX12B是为提高半导体器件加工质量而设计的高精度晶圆步进器。它具有广泛的光学元件和纳米级对准精度,可容纳12英寸大小的晶片。这种晶片步进器能够支撑各种标线，包括可互换、全场和主场光刻工具。NIKON NSR-2205EX12B配备了先进的标线级，能够在x和y轴中进行超精确的标线移动，从而对光刻面罩进行精确对准和配准。它还配备了用于实时迭加测量的XYG扫描仪,以及NIKON自己专有的SmartDoseTM功能,可实现自动剂量控制。在成像能力方面，NSR-2205 EX12B能够在248nm的波长下分解到17nm的线宽。它还配备了多种照明选项，包括i-line、g-line、氟化k（KrF）激光器和极紫外线（EUV）光源。这种步进器还能够使用多种抗蚀剂材料，包括光致抗蚀剂、负音抗蚀剂和干膜抗蚀剂。NIKON NSR 2205EX 12 B也因其离轴照明配置而提供卓越的吞吐量。此步进器能够处理0.3mm至1.0mm的各种晶圆厚度。此外,它还通过创新的加热器辅助技术支持最新一代的抗蚀剂。在数据管理方面,NSR 2205 EX12B支持NIKON专有CMOS400技术,它允许同时进行数据收集和图像传输。这样可以确保所有关键数据自动上载到NIKON NSX软件以进行进一步分析。总而言之,NIKON NSR 2205 EX 12B是一种坚固的晶圆步进器,可提供卓越的光刻性能和吞吐量。其先进的光学和纳米精度帮助半导体器件制造商生产精度和精确度极高的器件。其全面的数据管理功能确保有效地存储和跟踪与设备相关的所有相关信息。