二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9379639 待售

NIKON NSR 2205 EX12B
ID: 9379639
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Stepper, 8" 1997 vintage.
NIKON NSR 2205 EX12B是一种强大而精确的半导体晶圆步进器。这台机器配备了高性能和精确的多轴级。它适用于制造百万像素成像器件、精确和精确的光刻图样、紧凑和高效包装的器件,具有挑战性的小半导体晶圆尺寸。NIKON NSR-2205EX12B采用了最新的光刻机技术-微型光学元件,模具尺寸为25 mm至300 mm,最小螺距尺寸为0.26。这种先进的多轴精密光刻设备在半导体晶片上创建了高度精确的图样化图像,最小线宽为0.29 um。NSR-2205 EX12B特性的设计包括配备隔离级的集成晶圆处理机器人和新型超高精度光学子系统。所有组件均采用低调设计,非常适合超小型高分辨率光刻应用。为确保连续生成高分辨率图像,NSR-2205 EX 12 B使用高度先进的四点红外激光束扫描仪进行长时间曝光。NIKON NSR-2205 EX12B具有多种性能增强功能,包括非接触式空气轴承级和高级光学对准单元。这些特性有助于以最高的效率提供高度可靠的光刻工艺。往复式滑动运动和+/-4 um的曝光精度使NIKON NSR 2205EX 12 B能够在晶圆表面上产生非常精确和均匀的最小变形模式。NIKON NSR 2205 EX 12 B具有广泛的安全特性,以确保操作安全和使用寿命。多个安全传感器监视计算机,并在检测到问题时创建错误消息。此外,内置联锁可确保机器的保护,并最大程度地减少停机时间。此外,高级DIAS(诊断和智能辅助工具)在手动操作时提供了正确的数据。总之,NSR-2205EX12B是一种可靠、精密的晶片步进器,具有多种特点,可确保经济高效的生产和卓越的产品质量。先进的四点激光束扫描提供了极长的曝光时间,非接触式空气轴承级提供了+/-4 um的高精度。因此,它是在半导体晶圆材料上产生精确的光刻图样的理想机器。
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