二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9379641 待售

NIKON NSR 2205 EX12B是半导体制造商使用的最先进的晶圆步进器。它具有独特的统一索引设备、双向对准和先进的超精确控制。该EX12B是为满足最苛刻的设备制造应用程序的需求而构建的。该系统采用基于设计载波的通用晶圆传输方法，简化晶圆交换、存储和自动化工具控制。这种统一的索引单元能够精确定位晶片在一个精确的位置，在一个位置范围内一微米的分辨率。这使机器的光学器件能够使用单个设置可靠地处理多层。双向对齐工具可实现真正的非随机阵列放置,并灵活地适应复杂的设计变化。NIKON NSR-2205EX12B的光学封装由四束激光束组成，用于处理和对准。激光器即使在高放大倍数下也能提供高达四微米的精度，确保精确的图桉放置和迭加精度。资产还设有两个微衍射透镜，将分辨率提高到亚微米级。该模型由一个唯一的超精确控制器驱动,该控制器可编程为多种数字配方。控制器精确计算激光束的路径，以保持最高的图桉放置精度。这种先进的控制器大大提高了设备实现器件屈服一致性的能力。除了精密控制器外,系统还具有多种功能,可提供进一步的控制和监控。这些功能包括实时过程监视器、缺陷检测单元和热补偿机。基于激光的缺陷检测工具提供了至关重要的终身维护解决方桉,有助于防止设备污染。最后,该资产是针对要求最苛刻的半导体制造环境而设计的。它具有固有的防尘性能，能维持较高的工作温度，具有较低的振动，具有紧密的覆盖和分辨率。使用NSR-2205 EX12B,可以在最具挑战性的设备上自信地处理不断缩小的设备大小。