二手 NIKON NSR 2205 i11D #9213593 待售

NIKON NSR 2205 i11D是用于前沿半导体光刻的最新一代具有多场处理功能的高精度晶圆步进器。它的最大分辨率为0.17 μ m,市场领先价值为每小时12,000晶圆（WPH）吞吐量。它提供极致的周期性能,产生更高质量的图像和更大的灵活性。该设备的特点包括19nm的舞台精度、自动对焦点尺寸控制能力、离轴照明、防反射涂层、偏振控制、多场缝合，以及一个强大的自动分辨率优化遗传算法。它还拥有一个新的用户友好的触摸屏显示器，允许各种在线系统调整。步进器提供了广泛的曝光选项,包括从左到右和从右到左模式,使设备能够用于单层、双层和多层曝光。它还可以容纳200 mm以上的较大基板尺寸,其平整精度比整个基板的3 μ m高。该机还支持各种照明和屏蔽源,包括一个轴上源、离轴源和七个层压源。该工具由高精度部件制成，由真空平台构成，采用高硅纳米凝胶绝缘材料稳定。NIKON NSR-2205I11D可靠可靠,工作寿命长.它也是高效的，因为它在更大的温度范围内运行时保持其精度和WPH。此外，它还具有低保养设计，比前代车型耗电量少45%，每两年只需要定期保养一次或5万次曝光。总体而言,NSR 2205I11D晶片步进器是一台可靠、功能强大且高效的机器,能够产生业界最优质的光刻图像。对于要求其光刻工艺达到最大性能和精度的半导体制造商来说，它是一个理想的工具。