二手 NIKON NSR 2205 i12D #9263044 待售

NIKON NSR 2205 i12D是为半导体器件制造中的先进工艺而设计的高性能晶圆步进器。它是一种最先进的扫描步进设备,支持高达0.25 µm的分辨率以及高速和精确的扫描能力。晶圆步进器被设计为与最新的光刻工具，如浸入式透镜一起使用，并且配置了一系列尖端技术，以提供可靠、高精度的生产。NIKON NSR-2205I12D由高度精确的12束可变形状光束（VSB）光刻系统提供动力。该单元提供了改进的精度和可变焦点控制,为要求苛刻的应用程序提供了稳定性和可靠性。12光束配置还可确保卓越的光掩模制造,减少污染并确保与成品设备保持一致的保真度。步进器还采用了最新的主动对准传感和校正技术,以确保最高质量的对准和迭加精度,最大限度地减少设备之间的变化。NSR-2205I 12D的核心是一个功能强大的控制机器，它是高度可配置的，并提供广泛的光刻，成像，计算和同步功能。此控制工具使设备制造过程中使用的许多必要过程自动化,从而无需繁琐的手动检查和调整,有助于简化生产过程并最终降低成本。高级调平阶段（ALS）专为NSR-2205I12D而设计,以确保步进资产的快速平稳运行。这种低调、双轨、空气承载级极为稳定，可调至1 µm精度。ALS模型易于使用，并且允许许多磁力驱动级相互连接，以实现复杂的运动和运动。NSR 2205 I12 D还具有EI透镜技术,以及反射成像特征（Reflective Imaging by Characterization, RIC）成像,与传统的透镜系统相比,无需额外的对准和迭加布线,提高了精度。晶圆步进器还支持广泛的高级流程，包括掩码写入和流程控制。总体而言,NIKON NSR 2205 I12 D是一种先进的扫描步进设备,旨在提供突破性的性能和可靠的制造。步进器结合其尖端技术和强大的控制系统，是任何尖端半导体器件制造的绝佳选择。