二手 NIKON NSR-2205EX12C #9137681 待售

NIKON NSR-2205EX12C是最先进的晶圆步进器。步进器具有复杂的算法驱动设计，允许单个晶片或基板的精确和可重复曝光。它提供高吞吐量和节省成本的解决方桉,以满足广泛的光刻需求。NSR-2205EX12C的核心是使用先进的数字照明技术（DIT）数字成像系统的下一代曝光设备，该系统提供比传统晶圆步进器更大的曝光范围。此外，该装置有一个内置的专有轨道机，它跟踪每个晶片和基板通过刀具时的位置，有助于重复曝光精度和显着减少生产中的误差。该资产采用了基于CCD相机的高精度对准模型，可确保在曝光后对准过程中的精度水平高达1.5微米。相机捕获每个晶片或基板的曝光点，并使用结果准确补偿曝光过程中可能出现的任何错位。该设备还包括一个高精度的SCHOTT板对准器，用于0.45微米的曝光前对准精度，确保每个基板在曝光前都精确居中。NIKON NSR-2205EX12C还提供各种系统来最小化和控制抵抗厚度的变化,包括一个可以精确控制边缘暴露的数字边缘补偿（DEC）系统,以及一个可以精确控制每个基板的抵抗厚度的数字重新连接（DR）单元。此外,它还包括高度先进的垂直开发方法（VDF）,提供更一致的曝光后烘烤到烘烤的开发过程。最后，NSR-2205EX12C包括一台先进的光学透镜机，它可以提供广泛的聚焦、放大和数值光圈调节选项，最大NA为0.85，允许精确曝光甚至最小的特征。总体而言,NIKON NSR-2205EX12C是一种高度先进的晶圆步进器,为光刻应用提供了经济高效且高通量的解决方桉。