二手 NIKON NSR FX-601F #9293644 待售
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ID: 9293644
优质的: 1998
Stepper
Gen 2 (370 mm x 470 mm)
Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels
Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S)
Projection magnification: 1: 1.25 x
Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm)
Reticle size, 6"
Holds: ~(50) Reticles
Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ)
Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²)
1998 vintage.
NIKON NSR FX-601F是一种高性能晶片步进器,它为各级光刻应用提供了极其精确和高效的解决方桉。这种多功能工具能够以0.9秒曝光时间的惊人速度工作,并且能够支持从亚微米模式到极端精确特征的所有类型的基板。它配备了高度精密的激光投影光学设备,提供了无与伦比的高焦度和精确度,消除了通常与常规步进器相关的潜在像差。NIKON NSR FX 601 F极快的重复率确保了系统的光学性能无论图样多么复杂或精确,都能保持其无与伦比的精度。此外,步进器还可生成分辨率低至20 nm的阵列的精确曝光。步进器的高级自动化功能使它能够快速重新配置为任何光掩模,以获得最高的准确度,而且操作人员的培训和时间最少。NSR FX-601F还提供高度高级的触摸屏功能,以进一步方便用户操作。该单元使用户能够灵活地访问和修改机器功能,例如曝光精度和强度。此外,步进器还配备了直观的可编程接口,使其能够与各种前端工具集成,如曝光数据采集软件,进一步提高光刻性能和稳定性。NSR FX 601 F为用户提供了卓越的价值,最终实现了最高的性能和准确性,同时允许快速的周期时间。即使在最具挑战性的暴露场景中,它也能提供卓越的质量和可靠性。高度复杂的设计确保步进器以最大的一致性一致地提供高精度结果。总体而言,这为用户提供了一个强大而可靠的晶圆步进器,能够满足任何尺寸的光刻应用的需求。
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