二手 NIKON NSR S202 #9299398 待售

NIKON NSR S202是一种精密光刻设备，设计用于提供半导体器件生产的高精度。它是一个双场晶片步进器，结合了优越的光学和运动控制，以确保图像保真度和几何精度。该系统配备了高精度、宽带的镀锌扫描镜，可同时进行现场曝光，同时在曝光过程中保持图像分辨率。NSR S202的离轴照明设计结合了散射照明和偏振光控制，实现了步进场尺寸的最佳曝光均匀性。在较大的半导体器件特征尺寸上,使用远心变焦镜头保持平焦平面,不会出现变焦误差或像差。NIKON NSR S 202的高级运动单元提供多种扫描模式,包括5 × 5、4 × 4和3 × 3场大小,以及精细调整速度和加速度以实现精确控制。其精确对准机保证了对准精度和重复性，透镜对晶圆高度和位置控制由高精度XY光栅级设置。NSR S202包括一系列过程控制功能,以确保可重复且无缺陷的处理。它配备了NIKON专利的Photo Monitoring Tool，在步进曝光过程中提供直接模式观察，并由NIKON ZyGo Sensor过程控制工具集提供自动缺陷检测和校正能力。此外，NIKON NSR S202配备了双波长激光标记检测资产，能够进行缺陷登记和检查。其先进的碎片管理模式旨在通过在易于进入的托盘中收集碎片来尽量减少晶片的污染。总体而言,NSR S202是一种先进的双场晶片步进器,它结合了卓越的光学、运动控制和过程控制功能,可确保最高的输出精度和无缺陷的半导体器件。