二手 NIKON NSR S306 #9229321 待售

NIKON NSR S306
製造商
NIKON
模型
NSR S306
ID: 9229321
晶圆大小: 8"
Scanner, 8".
NIKON NSR S306是由NIKON设计制造的高精度成像设备。这种晶圆步进系统为半导体和MEMS行业提供先进的技术、最先进的性能和广泛的功能。NSR S306能够成像回转、接触孔、边缘成像和小至15 µm的标线。该设备的设计可满足多种用途的生产环境,允许在不同作业之间快速切换,而无需花费昂贵的机械设置时间。其用户友好的界面和全面的软件套件意味着它易于学习和操作,对于需要高质量成像的应用程序来说是一项值得的投资。除了提供高分辨率的结果外,NIKON NSR S306还精通提供层对层和模对模对齐。这台机器还配备了图像识别技术,该技术允许自动光学调节,并能够精确对准。NSR S306由于内置黑光滤镜和自动快门的工具,也是进行曝光的安全环境。这样可以防止任何不必要的紫外线或可见光照射,这会在成像时损坏敏感的晶片。自动快门功能还弥合了曝光和开发过程之间的差距,这意味着对激光的曝光被最小化,从而提高了曝光图像的质量。该资产还拥有一台高性能的SIRIUS现场发电机,该发电机具有± 45°杆捏可调节倾斜的范围,可用于各种成像工作。SIRIUS现场发电机集成了热覆盖模型,即使在严格的条件下运行也能消除步进器的失真。NIKON NSR S306还具有先进的SEIKI自动定心机构,可实现高精度对准。使用此设备,可以在不牺牲晶片位置精度的情况下实现无漂移图像对准。此外,NIKON Scanning Mirror将投影光束聚焦在标线上,造成较小的光斑大小,因此图像分辨率较高。总体而言,NSR S306是一种先进的晶片步进器,其设计和制造的目的是为了适应单层/多层晶片的高质量成像。它具有先进的图像识别技术、自动快门、SIRIUS现场发生器和SEIKI自动定心机构等一系列高性能特性,提供针尖精度和可靠性。
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