二手 NIKON NSR S306C #9379645 待售
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ID: 9379645
晶圆大小: 8"
优质的: 2003
Scanner, 8"
Main system: MCSV
Operating system: Open VMS / Windows NT / Linux
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD) / CD Drive
PPD
Unit system:
Wafer stage: Air
Chuck type: Pin chuck, 8"
Reticle alignment: SRA, VRA
Wafer alignment: LSA, FIA
BMU: Normal type
KRF Laser: CYMER Laser 7401
Auto focus: Multi
Chamber type: Sendai
Model no: S37
Wafer loader:
Loader type: Type 4
Wafer type: Notch
Flat zone position: 6 o'clock
In-Line: Left
Cassette: Right
Control rack position: Left
Reticle loader:
Reticle size, 6"
Library: 20-Slots
Bar code system:
No case
Reticle
2003 vintage.
NIKON NSR S306C是一种用于半导体制造工艺中光刻的高性能晶圆步进器。它利用先进的光学和高精度运动控制系统对晶片进行精确对准，以便在表面上绘制各种电路电平的图样。NIKON NSR-S306C的6英寸圆基生产晶片由两个独立的传感器头组成，允许更高的吞吐量和更大的灵活性。晶片步进器能够检查多个不同的层次，包括抗蚀层和地面层，以及检查切口和粘合层。此外,该设备还可以执行10倍和20倍的扫描放大倍数。NSR S306C拥有高速自动对焦系统，利用液体透镜快速准确对准。另外，步进器采用12站换镜器，具有自动换镜器和晶片加载的优化算法。此单元支持高速扫描并缩短生产过程的周期时间。NSR-S306C还具有先进的光源,可为高级阵列制作过程提供最佳曝光。可调的暴露水平可确保更高的准确性和在不同暴露区的覆盖范围得到改善。NIKON NSR S306C还具有先进的数据采集和控制系统。这样可实现自动曝光日和结果记录,以优化曝光过程。在维护方面,该机器具有易于使用的自动化维护工具和内置测试模式,有助于最大程度地减少停机时间并延长晶圆步进器的使用寿命。此外，尼康NSR-S306C也是一种环保资产，因为其低功耗有助于减少二氧化碳和其他排放。总体而言,NSR S306C是一种高性能晶片步进器,可提供高精度和吞吐量,减少模型周期时间,同时保持工艺的最佳质量。其先进的光学、高精度运动控制系统、光源和维护设备在半导体制造过程中提供了优异的效果。
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