二手 NIKON NSR SF120 #9290519 待售

NIKON NSR SF120晶圆步进器是先进的晶圆步进器，用于先进的半导体生产。它旨在实现各种成像应用和过程的高生产率,如高级光刻、检查、直接写入或电子束光刻。利用先进的NIKON光学设备和最新的长寿命投影曝光技术,该SF120实现了卓越的精度、对准和速度,具有高达0.5纳米的高分辨率,可用于超高精度应用。双级晶片平台采用主动对准设备，以确保最小的对准误差和超长曝光范围，用于长晶片操作。SF 120的高度适应性和模块化设计是针对各种前沿多功能流程和应用程序的完美解决方桉。NIKON NSR-SF120 Wafer Stepper为各种半导体生产环境提供了许多业界领先的功能。SF120具有460毫米的晶圆跨度,可提供高达0.2微米的可重复和精确的覆盖性能。固态激光光源采用集成曝光系统设计，提供稳定、高通量。内置的自动匹配单元保持机器平衡，产生优越的对齐性能。此外，NSR SF 120晶圆步进器提供了一种高分辨率高达0.4纳米的增强检测工具，使其成为检查晶圆上精确的器件特性的理想选择。它还具有广泛的曝光范围和现场校正能力，并支持各种标线以实现复杂的多图样和直接写入光刻。NSR-SF120 Wafer Stepper配备了用户友好的图形用户界面,该界面具有易于使用的直观控件,可简化操作并最小化停机时间。利用灵活的工艺环境,SF120提供了更轻的晶片交付和更高的吞吐量速度,以最大程度地减少操作员的工作量。其先进的资产管理解决方桉还使用户能够管理时间表、跟踪模式特征和监控实际处理结果。NIKON SF120 Wafer Stepper拥有全面的支持网络,提供卓越的质量保证和持久的性能。其先进的软件资产使用户能够以最高的准确性和可靠性快速完成工作,确保生产质量、很少或根本没有维护,并随着时间的推移节省成本。