二手 NIKON NSR SF200 #293636238 待售

NIKON NSR SF200是半导体制造业微光刻工艺中使用的最先进的多级、高精度晶圆步进器。它的设计考虑到了可扩展性,并为模式调整和开发提供了极其精确的曝光控制。NIKON NSR SF 200的模具尺寸可达12英寸,晶圆尺寸最大可达200毫米,能够处理各种基材和应用,是大批量生产的最佳选择。NSR SF200采用4级设计以提高精度和吞吐量,并配有视觉和照明系统,以改进曝光控制和对准。该系统利用两个调整轴进行最佳曝光管理，并提供准确的迭加对齐和转移模式配准。其他功能包括晶片的自动加载、自动零级对准和通过自动对焦。NSR SF 200还拥有0.5 µm的步进分辨率，允许在各种尺寸的基板上进行极其精确的图桉放置。此功能通过高达0.12 mm的图像分辨率进一步增强,使用户能够获得更高的准确性和可重复性。NIKON NSR SF200同样适用于先进的干性和抗性薄膜工艺。它能够处理曝光能级在145-312nm之间的材料,允许用户自动调整曝光照明,以配合他们选择的曝光和抵抗材料。此外,NIKON NSR SF 200还提供液体浸泡和双面曝光选项,使其成为满足最苛刻的半导体开发和生产要求的理想选择。为确保运行可靠,NSR SF200具有强大的软件和硬件组件,所有组件均在NIKON系列光刻平台上运行。这包括改进关键组件的提取和保护、最新的掩蔽和照明技术以及广泛的用户友好界面选项。总体而言，NSR SF 200是一种高效可靠的工具，用于生产半导体制造中一些最可靠、生产最精确的集成电路和基板。NIKON NSR SF200具有全面的功能集和高端组件,是满足特定于应用程序的晶圆步进器需求的首选产品。