二手 NIKON S 207 #293660439 待售

NIKON S 207晶片步进器是一种全自动和高端晶片步进器，结合了高精度的对准能力和高通量和晶片到晶片的迭加精度。它是一种完全可编程的设备，具有一系列模块，可用于步进过程，包括PEB、LPCVD、EPI和其他串联技术。该系统具有10.7 nm x 10.8 nm的大曝光场、0.75的高数值孔径（NA）和300帧/秒的高步进速度。步进器有两个曝光头，每个曝光头都有一个独立的光学单元，可配置用于不同的曝光和晶圆类型。可以对光学参数进行编程，以优化成像机在不同数值孔径、景深、放大倍率和光刻图桉尺寸下的曝光。该工具的对齐资产包括自动对齐光学器件、大视野和亚纳米分辨率,以实现关键层的精确和可重复对齐。该模型还采用了集成激光辅助晶片对准设备，具有极高的精度。NIKON S207 Wafer Stepper有一个全面的图像处理系统，用于先进的光刻特性，如小图样缝合、失真补偿、分色和高Q成像。对于高吞吐量,该设备每秒最多可进行3次曝光。它支持在曝光头之间充分交换曝光场，从而实现高冗余和使用昂贵的晶片。S 207 Wafer Stepper还具有广泛的阵列库,可轻松设置阵列参数,为用户提供最大的模式控制。用户友好的界面易于使用，允许管理不同的层和晶圆定义。该机符合ETTO标准,满足最严格的光刻工艺要求。S207晶片步进器提供了精密光刻、成像和晶片质量控制方面最全面的系统之一。其广阔的曝光领域、快速的速度和高质量的分辨率使其成为生产复杂3D显示器、医疗设备、半导体等先进应用的理想解决方桉。