二手 NIKON S205 #293606201 待售

NIKON S205是一种用于光刻应用的下一代、经济高效、步进重复模式发生器,为用户提供完整的2D模式处理系统管理。NIKON S 205是同级中性能最高的晶圆步进器之一。它采用先进的光学设计,可显着减少从边缘到边缘的失真,并允许构成更广泛的阵列。其高度集成的光掩模处理系统支持更薄的抗蚀剂，可提高产量和更好的吞吐量。其先进的对齐和计量能力允许较低的迭加不准确性，较少的层次调整和更快的处理。S205旨在提高生产过程中的速度、吞吐量和生产率,同时降低成本并提供更高的分辨率。其全机动化、四轴晶片级，加上高速模式发生器和8000位自动换模器，帮助S 205减少了换模、对准、曝光所需的时间。这台高精度机器能够处理高达12.5微米的线性和圆形图桉，精度高达2纳米。NIKON S205具有一系列可提供准确性和可重复性的集成功能,例如一个独特的稳定功能,可最大程度地减少热漂移量,以及一个高密度的6轴运动学机器人,可容纳80个位置和最多4轴旋转运动。NIKON S 205还配备了多种可选组件，如用于优化暗室空间效率的集成暗室，以及用于在曝光和对准步骤之间快速交换光学元件的自动镜头交换系统。S205适用于各种半图标和其他行业,例如LED和EPI,以及MEMS和微型设备。它旨在满足当今最具挑战性的速度和精度要求,同时为客户提供低拥有成本。S 205提供了先进技术和可靠性的理想组合,使用户能够获得最佳的输出和产量。