二手 ULTRATECH 1100 #158786 待售

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ULTRATECH 1100
已售出
製造商
ULTRATECH
模型
1100
ID: 158786
晶圆大小: 5"
Stepper, 5" Warehoused.
ULTRATECH 1100 Wafer Stepper是一种高性能光刻设备,用于半导体制造和高级研究应用。该系统用于利用强烈紫外线在硅片和其他基板上创建高分辨率图像。1100配备了先进的阵列和曝光技术,提供了卓越的图像分辨率和卓越的对准精度,同时也产生了一致的结果,无论传统步进限制。ULTRATECH 1100中的主要部件包括机械扫描级、光源、掩模(标线)和检测器。扫描阶段旨在最大程度地提高曝光精度和吞吐量。此外,先进的对齐单元使机器能够在各种复杂的图桉设计中进行精确的曝光。这种步进器的集成光源被设计成产生强烈和一致的紫外线定义光,同时还提供优越的图像曝光,以确保卓越的图像分辨率。集成的高性能微对齐器能够准确曝光最复杂的掩模设计。该探测器的设计目的是提供用于检查、晶片对晶片的曝光控制和验证以及实时步进性能监测和分析的曝光数据。1100 Wafer Stepper还配备了一系列选件,包括扩展对准功能和自动喷嘴对准,两者都提供了更高的吞吐量和曝光精度。该工具具有高度模块化的体系结构,能够处理不同的晶圆尺寸和应用,包括200毫米、300毫米和450毫米晶圆。这一先进的光刻资产旨在提供卓越的加工性能和精确度,并能够集成到一个全面的生产环境中。它旨在降低基板成本和提高吞吐量,同时提供卓越的图像分辨率、卓越的极化控制和卓越的图像缺陷控制。ULTRATECH 1100 Wafer Stepper还提供了直观的视觉界面,方便地访问流程数据和进行更改。该模型还设计为与各种计量和检验系统兼容。该设备得到ULTRATECH响应客户服务的支持,允许用户快速解决可能出现的任何问题。
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