二手 ULTRATECH 1100 #9023150 待售

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ULTRATECH 1100
已售出
製造商
ULTRATECH
模型
1100
ID: 9023150
Stepper, warehoused.
ULTRATECH 1100是一款全场晶圆步进器,旨在达到最高的性能和生产力水平。该设备采用双级直线电机驱动的扫描仪级,可实现高速、低振动和高精度图样解决方桉。系统使用使用80 kHz激光脉冲的视线光导光束输送单元。这种激光与精确定位晶圆的高精度、极稳定的激光干涉测量单元相结合,达到亚微米放置精度。1100晶圆步进器还设有专用晶圆加工室,用于快速晶圆加工。该工艺室采用低功率离子束源蚀刻侧壁角度高度均匀、悬垂保护的图样。ULTRATECH 1100还具有智能软件,可优化扫描模式,并专注于特征尺寸精度、放置精度和吞吐量。该软件还能够导航棘手的设计功能并支持多种设计风格。它还拥有强大的数据日志和分析工具,以确保可重复和可靠的模式。1100晶片步进器还提供了可以快速遍历晶片上高分辨率曲线特征的弯曲图样功能,使设计者能够实现更高的性能和过程稳定性。它还具有优化的抵抗行为、对更高分辨率图像的支持以及对精细间距应用程序的支持。ULTRATECH 1100还提供远程控制和监视功能,允许用户监视晶圆过程,并从任何位置远程启动过程优化。这使客户无需手动干预即可最大限度地提高晶圆吞吐量。1100还具有高级安全功能,以确保所有流程都安全可靠。该机器配备了标准的审核跟踪和日志管理工具,以确保客户数据的完整性和安全性。总体而言,ULTRATECH 1100晶圆步进器是一种功能强大且可靠的工具,可帮助工程师以最小的应力和工作量生产高精度、高质量的元件。其先进的功能,加上较低的拥有成本和可靠的可靠性,使其成为任何生产线的绝佳选择。
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