二手 ULTRATECH 1100 #9036435 待售

ULTRATECH 1100
製造商
ULTRATECH
模型
1100
ID: 9036435
Steppers.
ULTRATECH 1100是一种高度先进的晶圆步进器,设计用于半导体晶圆光刻加工。该设备简化并提高了许多行业的生产率,例如汽车、航空航天、医疗和消费电子产品。该设备由多个主要组件组成,包括一个X-Y级、一个扫描仪以及各种形式的软件和用户界面,用于对系统的活动进行编程和控制。X-Y级负责将晶片精确定位在舞台上,控制舞台的速度和方向。此外,X-Y级还负责控制光刻过程中晶圆坐标和运动的精度。使用石英涂层级板,X-Y级可以确保晶片精确对准用户指定的图样,精度约为0.1um。扫描仪,又称光头,负责可视化要处理到晶圆上的设计或图桉。这一过程需要极其精确的光学器件,如手动对焦透镜,这需要微观的精度,以确保设计被应用并精确转移到晶片上。此外,光头组件由光束消隐装置组成,用于防止图样在某些区域施加到晶圆上。1100晶圆步进器使用集成软件操作,用于控制和调整各种参数,如对准精度、光束偏转、聚焦、光束曝光时间、速度设置等。系统在软件中输入指令和参数以进行光刻操作。还提供了交互式图形用户界面,用于在用户需要时启用对设备的手动控制。从手动聚焦透镜到石英级板,ULTRATECH 1100提供了精密安全的光刻体验,适合半导体加工。该系统可提供精确的晶片光刻技术,其精度可降至0.1um,是晶片光刻工艺的理想选择。
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