二手 ULTRATECH 1100 #9151421 待售

ULTRATECH 1100晶圆步进器是一种全自动且高度精密的机器，用于在微光刻工业中将纳米晶圆转移到半导体晶圆上。这种步进器利用深紫外线激光器在基板表面产生一系列微观图样。设备由扫描仪和端站两个主要部分组成。1100扫描仪包括三个不同的阶段：投影镜头、图像记录阶段和下拉缓减阶段。投影透镜将来自高强度深紫外线激光的聚焦光束引导到位于图像记录阶段的掩模上。这会将设备模式重新创建到记录阶段,然后以同步方式自动移动到下拉缓解阶段。该步进器具有在248nm波长下工作的优点，图像分辨率高达0.25微米。由于使用了深紫外线激光器，ULTRATECH 1100能够将纳米尺度模式转移到长宽比为20：1的结构中。系统的激光脉冲长度也是可调的，从8到32微秒不等，取决于所需的图桉大小。此外,1100还有一个过程控制层,可自动执行机器设置过程。此功能消除了手动掩码对齐的需要,并允许在整个运行过程中使用一致的进程参数。ULTRATECH 1100晶圆步进器配备了最先进的光学器件，在整个机器使用寿命中保持高光学性能。此外，该装置有一个内置的安全机器，检测任何潜在的故障，并自动补偿它们，以确保可靠的操作。1100是一种多合一晶片步进器，利用深紫外线激光源和先进的光学器件将纳米级图样精确转移到半导体晶片上。此工具的全自动操作允许一致的过程参数,而其安全资产可确保可靠的操作。ULTRATECH 1100凭借其先进的特点和无与伦比的精确度，是微光刻行业的理想选择。