二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #186301 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage设备是一种晶圆测试和计量系统，旨在为半导体行业提供先进的质量控制和精度。该单元采用光学显微镜进行高分辨率成像和特征识别，并具有光谱成像能力来量化机器性能。自动化阶段允许对各种类型的晶片进行快速、无损的测量，包括平面和非平面应用。主动照明技术可实现动态照明和无影查看,从而实现准确的特征识别和自动事件检测。该工具配备了集成的微焦量测量资产,可在4英寸晶圆上提供高达5 µm的精度。它还包含用于静态、多路复用和重复测量的高分辨率非接触测量模型。该设备能够精确测量高长宽比特征和组件。其他功能包括快速对齐和阶梯式遍历的自动化阶段、用于重复快速流程验证的自动扫描系统、用于快速单元评估的动态数据分析以及用于特定应用程序的自定义工作流。UltraGage机器还配备了自动缺陷检测模块，可提供有关晶圆质量的快速、可靠数据。此模块包括一系列专门的算法,这些算法利用人工智能和机器学习技术来检测、分类和报告缺陷。该工具还能够对各种装配类型进行高精度的内联轮廓映射。这种情况会无缝地实时发生,从而详细了解各个元件在整个制造过程中的性能。所有这些功能使资产能够提供高精度、低成本的晶圆测试和计量。该模型也是可配置的，支持几种高级集成技术，包括在线测量、统计过程控制和机器人界面。这种互操作性为ADE 9500 UltraGage设备提供了高度的灵活性和可扩展性,从而实现了广泛的高级半导体应用。