二手 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9268807 待售

EPIPLUS/ETAMAX柏拉图是一种晶圆测试和计量设备，设计用于精确测量薄膜、激光扫描材料的关键参数。它将激光辅助测量技术与高分辨率成像相结合，达到晶圆测试的最大精度。该系统有两种不同的扫描模式：激光扫描和广域成像。在激光扫描模式下，微调的激光束聚焦在晶圆表面的一小部分上，生成完整而精确的轮廓。这种激光扫描对于检查非常精细的结构特别有用，如半导体、MEMS元件、小特征或超薄层。广域成像模式不如激光扫描精确，但它提供了更高的分辨率，能够精确测量较大的结构，如平板、蚀刻特征和图桉化地形。这种模式使用UV和红外相机从不同角度捕捉晶圆的高分辨率图像。ETAMAX柏拉图单元可用于多种材料类型和基材，包括全晶片、芯片和多层基材。它具有2-100X的放大范围，并提供各种参数的精确测量，如表面粗糙度、掺杂剂、地形和光谱反射率。该机器还提供高级软件,包括模式识别、3D成像和高级数据分析功能。软件可用于生成详细的分析报告，可用于提高工艺产量。此外,该工具还配备了自动边缘检测功能,以消除测量产生的有害噪声和失真。此外，EPIPLUS柏拉图还包括一个集成管理资产，允许用户跟踪在多个测试晶片上进行的测试结果。因此，随着时间的推移，可以很容易地监测和改进质量控制过程。总体而言，柏拉图是一个强大的晶圆测试和计量模型，旨在为各种材料和基材提供准确和精确的测量。它提供了先进的软件和一系列功能，可用于提高工艺产量和质量控制。