二手 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9268808 待售

EPIPLUS/ETAMAX柏拉图是一种先进的半导体制造晶圆测试和计量设备。该系统提供包括深度、角度、平坦度等在内的器件参数的高精度测量；它还具有集成的组件,例如用于快速晶圆传输的处理程序和用于自动检查的视觉单元。ETAMAX柏拉图是一种全自动晶片测试和计量机器，能够测试200毫米至100毫米范围广泛的晶片和零件尺寸。它具有用于晶圆传输和对齐的自动处理程序模块,以及用于自动检查的视觉工具。处理程序能够单独或以堆栈的形式从弹匣中装载和卸载多达十个200毫米晶圆,并且可以运输和对齐它们。视觉资产用于在测试前检查晶片的缺陷和其他标准。除了自动化元件外，EPIPLUS柏拉图还包括用于测量设备参数的ETAMAX计量模型。设备使用高精度采样干涉仪（SIs）来测量准确的器件参数。EPIPLUS系统在测量晶圆深度、角度、平坦度等参数时允许更高的精度。柏拉图是一个高效的晶圆测试和计量单元.它灵活易用，使制造商能够快速准确地测量设备参数。该机也极为可靠，提供精确一致的结果。总体而言,EPIPLUS/ETAMAX Plato是一款高度先进的晶圆测试和计量工具,具有集成的自动化组件和精确测量功能。它是半导体制造的重要工具，提供可靠、高效的器件参数测量。