二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #177831 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量半导体晶圆的表面参数。该系统采用最先进的高分辨率反射成像和先进的计量传感器，以精确测量晶圆表面的原子和纳米结构特性。使用此单元,用户可以轻松快速地测量所有类型的曲面特征,如线缘粗糙度和原子步长,并对它们进行深入分析。KLA 6200 Surfscan机器还集成了非计量扫描探针，允许分析压电颗粒或光刻针孔等缺陷和污染。该工具设计用于测量直径可达300 mm的晶片，也可在可UV配置的环境中操作，使其适合需要UV照明的高级应用。此外，TENCOR 6200 Surfscan拥有双区域视觉资产，由光学显微镜和视觉模型组成，能够对小细节进行详细的测量和分析，而传统成像方法则无法看到这些细节。PROMETRIX 6200 Surfscan还配备了步进和反射计软件，可以对晶圆表面进行高度精确的三维和地形成像。这样就可以详细分析原子层面的表面均匀性和微结构，以及无法使用其他技术测量的纳米结构。此外,6200 Surfscan还配备了一个光机设备,该设备包括一个眼镜片、一个物镜和一个探测器,所有这些设备的设计都是为了随时确保结构的稳定性和准确性。为了充分利用这个系统，它可以与数码相机或抗蚀剂测量探头等其他设备配对。抗蚀剂测量探针允许在原子水平上收集数据，然后可以用来生成电容或电阻等高度精确的电特性。这些数据可以用来进一步细化半导体芯片和器件的设计。总体而言，KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一个功能强大、最先进的晶片测试和计量单元，旨在对半导体晶片的表面参数和电气特性提供高度准确和详细的分析。本机适用于多种应用，包括精密计量、设计优化、污染监测等。