二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #198584 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan设备是半导体行业用来检查、分析、测量和比较各种基板地形特征的晶圆测试和计量系统。该单元允许用户监控晶片的表面平坦度，可用于进行缺陷检测、介电均匀性测试、蚀刻深度测量和临界尺寸测量。KLA 6200 Surfscan是一个用途广泛、可靠的计量平台，建立在KLA专利的多站编程梯度测量（MSPG）架构之上。这种体系结构使机器能够使用十个或更多独立的表面测量工具在多个测试周期中精确测量和跟踪表面地形数据。MSPG体系结构还促进了高度自动化、可靠的工具设计,在长期运行中提供可靠的性能。TENCOR 6200 Surfscan具有四英寸可视样品马达，它以多种速度旋转晶片，以确保从所有晶片表面获取表面测量数据。它还包括高精度激光多普勒干涉仪，在三英尺直径的样品区域上测量分辨率优于0.2纳米的平坦度。该资产的自动晶片处理使样品基板的快速更改具有最小的停机时间,从而减少了测试时间和人工成本。此外,还使用专门的晶片卡盘来确保样品在测试过程中保持安全。6200 Surfscan能够同时进行2D和3D表面地形测量,使用户能够检测介电、极化、电容和电阻率在一次测试到另一次测试过程中的波动。该模型还集成了先进的光学计量技术，如分形和干涉技术，以测量3 D纳米尺度的精度。最后,可以使用TENCOR专有的InSpec软件在计算机上分析PROMETRIX 6200 Surfscan获取的所有数据。此软件允许工程师将获取的数据存储在安全的中央数据库中,比较多次运行的数据,并以三维图形显示和分析结果。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种可靠且易于使用的晶圆测试和计量设备,可在各种基板上提供准确且可重复的测量。其先进的MSPG架构和自动化的样品处理最大程度地减少了停机时间和工作量,其高精度的激光多普勒干涉仪提供了出色的重复性和准确性。此外,该系统能够测量2D和3D表面地形,其InSpec软件允许轻松存储、比较和可视化获取的数据。KLA 6200 Surfscan是寻找可靠且经济高效的计量单元的任何半导体或研究专业人员的理想工具。