二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #193077 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于先进的半导体研究和集成电路制造。该系统是62XX系列晶圆测试系统的一部分，具有高速、广域、深度分析能力。KLA 6220 Surfscan单元具有高灵敏度激光散射测量，高达1500晶圆图像/秒，分辨率为10nm。此机器配置为利用标准的光反射（PR）和3D计量（3D）激光器对晶圆特性进行精确测试。具体来说，TENCOR 6220 Surfscan工具能够通过测量不同角度的受控光源反射来分析晶圆地形和表面粗糙度。这允许测量各种特征，如单层或多层介电结构，以及沟槽、触点、通孔和其他结构。该资产采用先进的激光干涉仪和独特的三维双传感器设计，能够进行高速纳米级测量，以进行精确的对准和参数评估。此外,该模型还提供了高级的基于Web的软件,用于晶圆分析、缺陷分析、过程监视和轮廓映射。这个功能强大的软件允许用户轻松分析和可视化晶圆地形、检测缺陷或执行精确计量。该软件还通过提供自动化的数据收集和分析功能协助报告生成过程。此外,6220 Surfscan设备允许聚类类似的功能,以改进对过程像差的检测。KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一个先进的晶圆测试和计量系统，在设计时考虑了用户。它提供高精度和高速激光分析晶片特征，并允许准确的缺陷识别和过程监测。该股的网络软件协助报告生成过程，提供自动化的数据收集和分析功能。KLA 6220 Surfscan是KLA致力于提供尖端技术和先进监控解决方桉以满足半导体行业苛刻需求的典范。