二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #197891 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体制造。它能够在多种晶圆类型上测量多种类型的电性能和物理性质，如硅、砷化氙和复合半导体。该系统由晶片处理硬件和光学成像单元组成，用于检测、表征和测量晶片表面的缺陷。光学机器由捕获晶片图像的图像捕获工具和分析图像的计量资产组成。图像被评估为人工制品和缺陷,如颗粒、凹坑和台阶。此外,还可以测量特征边和特征大小等特征。该模型能够在200 mm晶圆上感测和测量100 nm以下的特性,主要用于设备工艺开发和工艺监控。该设备具有高度可配置性,具有用于扫描仪和分析仪配置的选项,以及用于识别和分析缺陷的多个自动内核和数据库。此外,系统使用户能够根据各种流程要求自定义自动算法。KLA 6220 Surfscan为用户提供了多种优势,包括高精度和分辨率、灵活的操作、高效的自动化和可靠的测量。该单元以手动和自动操作模式运行，可以提供双指数步骤和二进制文件等标准格式的测量。机器还具有多种自动化功能,使其能够高效运行,且用户干预最少,如自动堆迭、表面特征识别、自动缺陷分类和自动缺陷检查。总之，TENCOR 6220 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量工具，能够对各种晶圆类型提供准确、可靠的测量。该资产是高度可配置和自动化的,使其成为半导体行业过程开发和过程监控的绝佳选择。