二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #192177 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款用于半导体制造领域的最先进的晶圆测试和计量设备。它将高度先进的成像和测量硬件与先进的软件相结合，以提供前所未有的洞察硅片和其他高科技组件的特性。KLA 6420 Surfscan设计用于在计量和成像方面对IC晶片上的设备进行全面分析。它利用具有自动对准和对准校正功能的先进光学系统，提供快速、可重复的分析精度。它还包括在模具制作过程中进行过程监测的几个备选方桉，使复杂的过程控制和分析成为可能，以及一系列定制和标准的测量程序。TENCOR 6420 Surfscan包括一个集成的图像采集单元，允许获取高达8,000x8,000像素的详细图像。分辨率为0.45 μ m时,高分辨率允许详细分析晶片上的各种元素,包括线条、间距和触点等特征。此外,与传统系统相比,该机器可以处理四倍的吞吐量。6420 Surf Scan配备了两个通道平行探测器，带有两个测量头，可以配合使用，也可以单独用于检查。这可以实现快速高效的性能,并在必要时在两个通道之间进行切换。该工具还能够进行高级2-D和3-D图像处理，以及自动缺陷分类。高级算法使PROMETRIX 6420 Surfscan能够区分真实缺陷和错误缺陷,并检测缺陷是否分组或隔离。6420 Surfscan配备了完全集成的KLA多区分析资产（MZAS）和TENCOR缺陷分类模型（DCS）,使用户能够微调检查参数,以及分析缺陷密度、大小和形状。MZAS允许快速测量整个晶片表面的多个区域,而DCS可以使用各种技术准确识别分组、隔离和与几何相关的缺陷。总体而言，KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种可靠、精确的晶圆测试和计量设备。它以极高的分辨率提供对IC晶片上各种元素的精确测量和详细分析。它采用了多种技术,能够实现快速高效的性能,同时深入了解晶圆的特性和性能。