二手 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #9196856 待售
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ID: 9196856
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Pattern inspection system, 8"
Glass size: 370 mm x 470 mm
Index / Robot
(2) Controllers
(2) Monitor racks
1999 vintage.
KLA/TENCOR Acrotec 6020是一种高通量晶圆测试和计量设备,旨在提供时间和精度的高效检测能力。它提供了进行快速自动晶片检查、测试模式完整性、晶片放射性和层厚度测量的能力。该系统旨在减少材料和时间要求,同时提供可靠的结果,并在检查和计量过程中提供温度和力控制。该单元将机械臂与CCD摄像头结合在一起,以自动进行晶圆搜索、样品放置和成像。KLA Acrotec 6020采用先进的激光扫描和传感技术以及红外(IR)相机,以极高的精度进行测量。该机器提供了一套全面的光学指标,用于评估晶圆背面,包括表面均匀性,对准,和薄膜厚度。其先进的光学传感器和成像能力使它能够快速、精确地定位晶片上的特征。TENCOR 6020还配备了最新的SpecIMA显微镜和光谱仪,以提供完整的晶圆分析。该工具采用SpectraDIC算法检测晶圆计量中的缺陷。它还有一个功能齐全的光学成像模块,提高了表面表征和缺陷检测的灵敏度和准确性。KLA/TENCOR 6020还提供接触和非接触表面地形测量服务。该资产配备了增强的温度和力控制,使其能够获得计量应用的最佳条件。它还有一个全自动校准模块,可以轻松远程完成。该模型的高级控制软件可通过互联网访问,允许用户根据需要自定义测试。6020是先进的晶圆测试和计量设备,提供最新的晶圆测试和计量技术,提供可靠、准确和及时的结果。它提供了执行快速自动晶片检查、测试模式完整性、晶片放射性和层厚度测量的能力,以及执行接触和非接触表面地形测量服务的能力。该系统配备了增强的温度和力控制以及全自动校准模块。它还有一个功能齐全的光学成像模块,提高了表面表征的灵敏度和准确性。利用先进的激光扫描技术,为晶圆背面的评价提供了一套全面的光学指标。该单元还结合了SpectraDIC算法来检测晶圆计量中的缺陷。是获得高效可靠检验计量结果的最佳解决方桉。
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