二手 KLA / TENCOR AIT XP+ #173057 待售

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KLA / TENCOR AIT XP+
已售出
ID: 173057
优质的: 2001
Patterned wafer inspection system AIT-III upgraded to AIT-XP Standard throughput High sensitivity throughput: 120 nm spec; 90 nm in practice No Bright Field Good sensitivity on metal coated wafers Dual EFAM: (25) wafer, 8" insert in 12" FOUP (25) wafer, 12" FOUP 2001 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP+是一款功能强大、业界领先的晶圆测试和计量设备,旨在满足高端需求。它是专门为解析最困难和最复杂的晶片材料而设计的,在评估和检查样品时提供了最高的精度。通过结合先进的光学和晶圆分析软件,KLA AIT XP+提供了卓越的吞吐量和采样率,以及强大的全自动设备来支持高复杂性故障分析检查任务。XP+提供了一个集成的表面检查系统,它结合了用于缺陷检测的高分辨率、高保真CCD成像、用于尺寸测量的光学计量以及用于材料组成和表面表征的表面分析系统。其先进的成像技术能够检测尺寸从不到一微米到超过10微米深的缺陷。此外,它的自动导航装置允许快速搜索和检查,节省时间和提高准确性。该机器还提供先进的全自动分析功能以及快速故障识别和分类功能。通过结合确定性和概率解析算法,该工具的人工智能能够快速准确地识别和分类多种类型的缺陷。而且,无论是光刻、聚焦离子束,还是原子力显微镜(AFM)操作,资产都可以根据特定的应用需求进行定制。总体而言,TENCOR AIT-XP+晶圆测试和计量模型是针对微米级缺陷检测、检测和分析的挑战和复杂性的高度先进的解决方桉。它结合了功能强大的光学设备、集成成像和高级软件,可以比以往任何时候都更快速、更准确地识别各种尺寸的缺陷。该系统具有全自动分析和故障识别功能,能够提供有关晶片质量和可靠性的重要见解,同时提供高效、经济高效的解决方桉。
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