二手 KLA / TENCOR Flexus #9007344 待售

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KLA / TENCOR Flexus
已售出
ID: 9007344
Measurement system.
KLA/TENCOR Flexus是下一代晶圆测试和计量设备,将高效的集成设计与最新的光学技术和先进的自动化工艺相结合,以达到最大的吞吐量和准确性。该系统旨在为半导体器件提供全面的晶圆级测试和分析。该单元先进的闭环、基于视觉的体系结构使其能够同时测量和分析每小时多达24张测试晶片幻灯片。KLA Flexus的独特之处在于,它利用精确的成像和计算功能,为从接触到非接触式再到背面的整个过程创建了一个单一的平台。它集成了高速相机、激光计量工具、强大的图像处理算法等多个强大元素,使其能够精确测量每一层、发现缺陷,捕获晶体管栅极宽度、触点垫径、掺杂水平、设备性能指标等关键设备参数。这种精度和可重复性水平意味着TENCOR Flexus可以提供小于1nm的基板独立精度。该机采用阶段集成闭环解决方桉引擎(CLSE),作为智能、自学精密的机器人控制器。CLSE自动调整工具参数以优化资产性能和准确性。它还集成了预测分析,以预测上游和下游进程相关事件,使模型能够根据不断变化的条件自动和迅速调整其参数。这些功能有助于最小化设备设置时间并最大限度地提高吞吐量。Flexus还包括用于数据记录、数据分析和现场报告的内置功能,从而能够快速轻松生成复杂的性能和可靠性报告。此外,该系统可以有效地升级,允许用户添加或调整计量工具,以适应设备设计或测试参数的变化。总而言之,KLA/TENCOR Flexus是一个功能强大且高度先进的晶圆测试和计量单元,为用户提供了快速准确晶圆测试和计量的集成解决方桉。KLA Flexus能够同时测量和分析每小时多达24张测试晶片的幻灯片、预测分析能力以及可升级的硬件和软件,因此,KLA Flexus非常适合作为任何晶片测试和计量设施的基石。
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