二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #197077 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一种可靠、通用、高性能的晶圆测试和计量设备,可为光学薄膜和迭加测量、表面应力、轮廓测量和薄片电阻提供最大精度和可扩展性。该系统允许对半导体工业中的晶圆和基板进行详细的工艺评估。KLA M-Gage 300占地面积大，吞吐量高，可实现高精度、精确的计量，周转时间快。该设备采用创新的自动化高速自动对焦机,提供无与伦比的设备准确性和可重复性,并具有最少的操作员交互功能,以及众多其他高端功能,这些功能显着缩短了测量时间并最大限度地提高了生产率。该工具可编程以容纳各种标准计量设备，包括白光干涉仪、光谱、散射法、拉曼、原子力显微镜以及其他光学和非光学分析模块。它还包括用于迭加和尺寸反馈控制的精确双轴级，以及用于样品循环的精确自动操作，确保对薄膜、表面、基板、半导体器件和微机电系统进行精确和可重复的测量。TENCOR M-Gage 300由于能够评估各种尺寸和形状的晶片和基板的电子、机械和光学性能，是半导体工业的重要工具。该资产具有高度可靠的内置数据采集模型，便于谨慎、安全地传输数据。此外，报告软件提供了详细的结果，便于确定过程参数。PROMETRIX M-Gage 300设备还配备了集成的触摸屏基座，实现了与半导体设备的直接集成，使用户能够快速将多个子系统连接在一起，并通过暗室兼容的背光获得准确的结果。该系统还兼容CAD和精密的薄膜模型。总之，M-Gage 300单元提供了可靠和先进的晶圆测试和计量功能，具有一系列复杂的功能，使其成为半导体行业真正通用、功能强大的工具。它提供了最大的精度、速度和准确性,同时提供了改进的数据准确性和最小的操作员干预。