二手 KLA / TENCOR M-Gauge 200 #200432 待售

KLA/TENCOR M-Gauge 200是一种高端晶圆测试和计量设备，设计用于精确、可重复测量晶圆。KLA M-Gauge 200结合了最佳的KLA系统和最新的计量技术，以确保最高的准确性和可重复性。该系统包括一个200毫米、3000万像素、视频检查头和一个能够测量200纳米特征的多传感器计量装置。该机器能够以每小时80个晶片的速度测量晶片,并配备冗余功能,确保精确测量并防止数据丢失。该工具采用双光束激光干涉仪实现快速、准确、无失真的3D测量，并采用计算机化调谐资产，允许干涉仪动态调节。这使用户能够快速调整光路以获得最佳精度。该模型还具有精确对准设备,以确保晶片始终正确地位于检测场的中心,并且测量不会因晶片或系统组件的任何未对准而失真。TENCOR M-Gauge 200具有高动态测距仪,可实现从大功能到小功能的精确测量,并能够测量200纳米大小的功能。该单元还包括acousto-optic光束转向，即使在最高扫描速度下也能以超高精度扫描整个视野。这样可以确保机器能够精确测量最复杂的形状和特征，包括高密度晶圆。M-Gage 200是为了准确性和可靠性而打造的，并配备了多种内部冗余特性，以避免资料丢失。该工具还具有流程控制功能，使用户能够验证其测量的准确性，并使资产性能监测过程自动化。KLA/TENCOR M-Gauge 200是要求苛刻的晶圆测试和计量应用的理想选择。它的高级功能和高精度测量确保了准确性和可重复性,而其过程控制功能允许用户优化和自动化其测试和计量程序。