二手 KLA / TENCOR M-Gauge 300 #128691 待售
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ID: 128691
Thickness measurement system, 6"-8"
Non-Contact Wafer monitor for Sheet Resistance
Digital data converter, model 20 03030
Does not include printer
Power requirements: 100V, 1A, 1ø, 50Hz
Measurement Range: 1m ohm/square to 1,999 m ohm/square
Ω/mΩ Switch ( on rear of measurement head )
Power Switch ( rear panel )
Measurement head
Wafer carriage
Display
Disk access door
Main / Auto button
Start / Standby button
1996 vintage.
KLA/TENCOR M-Gauge 300设备是用于高科技制造的先进晶圆测试和计量系统。这个单元常被用来测量和检查用于生产半导体器件和其他光电产品的晶片的厚度、平坦度、粗糙度、均匀性等特性。KLA M-Gauge 300采用三维轮廓对晶圆的2D和3D表面特征进行精确计量。TENCOR M-Gauge 300利用由两个独立扫描轴组成的5轴扫描平台：X轴和Y轴控制扫描仪在样品表面的重新定位，Z轴控制扫描仪的高度。这个扫描平台允许对晶圆表面上的每个特征进行精确的单独测量，以及完全集成的地形和粗糙度测量。此外,M-Gauge 300还为每个扫描轴提供了一台自动校准机,使用户能够快速准确地设置晶圆表面以匹配已知的参考表面,并在计量数据集内达到尽可能高的精度。KLA/TENCOR M-Gauge 300为晶圆测试和计量提供了一套综合工具。这包括聚焦离子束铣削、激光材料去除、干涉测量和视频成像等功能。这些工具使用户能够快速准确地识别晶圆表面的缺陷，分辨率为3纳米。KLA M-Gauge 300还提供了一个统计模块,该模块将数据归类为单个报告,以便于分析。此模块还提供通过/失败检查,可用于生成晶圆特征的统计认证。TENCOR M-Gauge 300是晶圆计量的通用可靠工具，为各种晶圆测试应用提供精确、准确的结果。它提供灵活和可定制的选项,旨在满足任何生产环境的需求,其直观的界面和自动校准选项使其操作和使用变得简单明了。依靠这种最先进的晶圆测试和计量工具，用户可以放心，他们的生产成果将达到最高质量标准。
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